Zeta光学显微镜 三维成像及测量系统 ? 样本本色三维成像 ? 台阶高度,线、面粗糙度,角度和尺寸测量 ? 高粗糙度、低反射率样品的测量 ? 深槽和其它高纵横比面形貌特征的成像 ? 薄膜厚度测量和 DIC 功能选项 ? 多功能、操作简便的应用软件 由位于美国硅谷的Zeta仪器公司研制,Zeta 20 是一个集多种测量手段于一身的精密光学仪器。它体积小,功能强,使用方便,是解决用户三维成像和测量问题的有效工具。与市场上售价昂贵的同类产品相比,ZETA 20*特的三维成像技术能够更准确,更**地对LED/PSS、太阳能电池、微流体导管等样品表面进行成像分析。非接触式测量加上零维护成本使得Zeta 20成为三维测量系统中性能价格比较优的解决方案。 应用实例 1. LED/PSS(图形化蓝宝石基板) 高度、尺寸和间距的自动测量;蚀刻前后的基板表面测量 2.太阳能电池 AR薄膜厚度监控;HDR成像使得同时测量高反射率的栅线与较低反射率的氮化硅成为可能 3.生物科技/微流体 大视场三维成像;高纵横比深槽和其它复杂表面形貌特征的**测量 4.精密研磨 钻石抛光垫等较粗糙表面的成像和测量 典型系统配置 显微镜系统 光源: 高亮度白光 LED 物镜: 5x,10x,20x,50x,100x 耦合镜: 0.5x 手动载物台: 100mm x 100mm XY 驱动范围 Z轴: 30mm 纵向驱动范围 数码相机: 1024x768像素, 1/3英寸 CCD 计算机控制系统 CPU: 英特尔? 酷睿2 双核处理器 内存: 3GB 硬盘: 320GB 显示器: 22英寸宽屏 LCD (1680x1050像素)